这两年间，美国不断增加的“实体清单”名单，和愈发过火的半导体禁令，让中国深刻地体会到了“中国芯”领域的巨大缺口。

现在，以华为为首的中国科技企业，面临着芯片断供的危机。唯一的自救之法就只剩下自主制造芯片。

客观来说，中国在芯片设计领域做得很不错。比如华为麒麟芯片，就和高通骁龙一起，居于智能手机芯片市场的第一梯队。紫光展锐更是在今年克服了技术难题，研发出了全球首款6nm euv工艺芯片——虎贲t7250。

然而，就算中国拥有前沿芯片设计技术，也突破了制程工艺瓶颈，中国也很难制造生产芯片。原因就在于核心设备光刻机上。

光刻机是芯片制造环节中最关键、最核心、技术含量最高的设备。全球范围内，目前只有asml（荷兰阿斯麦公司）能够生产高端的euv光刻机。

虽说asml不是美国企业，不受实体清单的限制。但中芯国际于2018年初，斥资1.2亿美元向asml订购的光刻机，至今仍未到货。无论背后原因如何，从这一点就能看出，要想实现技术突破，只能够依靠自己。

而就在最近，中国在光刻机领域真的迈出了相当成功的一步。我国一家名为华卓精科的企业，近日宣布成功突破了双工件台纳米级限制，成为了全世界第二家可以独立生产制作双工件台的企业。

据了解，一台光刻机的重量高达180吨，其内部有10万多个零部件、3000多条线路，技术难度非常高，内部结构极其复杂庞大。asml平均每年仅能制造出20台euv光刻机，而其中90%的关键设备和零部件都要依靠进口。所以，在光刻机领域内，能掌握一个关键技术，就具有相当的意义。

在光刻机所需的10万+零部件中，最重要的三个分别是：极紫外光源、光学镜头和双工件台。双工件台直接决定着光刻硅片的质量。

普通的单工件台，每小时的产能仅80片左右，而双工件台的生产速度提升到了每小时270-300片。不仅如此，双工件台在高速运作的同时，还能保证精细至2nm的精准度。要知道一根头发的直径都有40-50微米，相当于40000-00nm。所以，双工件台的技术难度是相当大的。

华卓精科研发的双工件台，对我国光刻机行业，乃至于整个芯片行业都是非常有意义的。大家应该对“中国芯”充满信心。

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