西安交大联合秦川机床、哈尔滨工业大学等单位,首次采用阶梯梁结构成功研制出了1500mm非球面超精密车磨复合加工机床,实现了典型加工件(直径400mm以上)的面型精度优于5μm(pv),粗糙度小于10nm(rms),同时研制出了1500mm大尺寸工件等应力支撑夹具和高精度工作转台(轴跳和径跳均为0.3μm)等。该项成果可满足卫星用光学系统、大型天文望远镜等精密设备研制对高精度大口径光学非球面元件的需求,对于提升我国精密超精密加工技术及装备领域核心竞争力和创新能力具有重要意义。
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