钨、钽、铌、铼和钼……难熔金属在原子能、航空航天、电子信息和医学诊疗等涉及国家安全和国计民生的高科技领域具有极为重要的用途。但是，近10年来，世界钨工业所消耗的大部分钨资源来自中国，造成我国这类优质战略资源的储藏量大幅下降。
26日，记者从北京理工大学获悉，十年磨一剑，由北京理工大学、中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中国原子能科学研究院和昆明理工大学组成的项目团队，在基于二次资源利用的高端难熔金属产品研发及应用取得重大突破。
“通过应用基础研究与产业化，项目组打通了从回收废料，到电子级wf6气体、超高纯度钨零部件等产品的全链条产业化技术，突破了wf6高效氟化制取及纯化，高纯度钨靶材、钨加热体、异型钨坩埚的常压化学气相沉积制造，基于尾气利用的高纯度超细钨粉等离子化学法制备，副产物hf的f2/nf3和h2电解制取及其在wf6的制取和还原中的应用等关键技术。”该项目组负责人北京理工大学教授谭成文说。
历经约10年努力，项目组研发出高纯wf6、超高纯钨靶材、离子注入机用高纯钨部件、高性能钨加热体、高纯异型钨坩埚等系列高端产品。
谭成文说，其中，高纯wf6纯度达99.999%，满足了半导体行业对于特种气体的高纯度要求，在英特尔、东芝、台积电、中芯国际等国内外知名半导体企业获得广泛应用，国内市场占有率80%，国际市场占有率近25%，仅3年时间即实现单一产品年产值过亿元，利润率大于20%。随着技术不断改进，产品在相关企业的用量大幅提高，打破国外垄断。超高纯钨靶材、离子注入机用高纯钨部件、钨加热体、异型钨坩埚纯度达99.999999%。
来源：科技日报
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