电浆制程技术厂商sts(surface technology systems plc)最近宣布，该公司新一代pegasus晶圆深层蚀刻机(drie)已争取到德国自动化微机电系统(mems)设备制造大厂博世(robert gosch gmbh)的订单。

这也是pegasus自从2005年6月28日公开问世以来，所接获的第五张重要订单。pegasus系统将会安装在bosch位于德国鲁特林根(reutlingen)的晶圆厂，未来将用于多项研发计划中，开发新的mems设备。

据介绍，sts软件灵活性高，加上可直接手动控制的系统，让bosch等制造大厂能完全提升个别制程的性能，确保产品质量与高良率。在mems市场中，设备设计经常随各个不同厂商而有显著差异。sts相信，该公司的设备足以因应广大客户群之不同需求。

除了pegasus技术所能提供的制程优点以外，sts此次赢得bosch青睐的另一主因，在于sts坚持并承诺在德国境内提供杰出的客户支持与服务。今年初，sts重新整顿并加强了位于乌尔姆(ulm)之德国办公室的工作团队，并指派一位区域客户支持协调经理前往领导该团队。此位新任主管将会与德国地区的客户密切合作。

sts副董事长mutsuo mukuda表示：“bosch这张pegasus系统的订单对我们而言至关重要。这笔订单不仅代表我们在欧洲最重要、最大的四名客户之一采用了pegasus系统，也加强了我们本身对pegasus的信心。pegasus为mems市场带来各种层面之技术加强与发展，例如高均匀性电浆源，能帮助提高蚀刻率更高，并大幅改善蚀刻均匀性，创造出更高的传送率与设备良率。我们对pegasus满怀期待，希望这个系统能进一步带动mems市场的蓬勃发展。”

以上是网络信息转载，信息真实性自行斟酌。