半导体设备及材料产业被称为半导体的支撑产业，每一次设备的推陈，每一次材料的出新，都深刻影响着半导体产业的发展。另一方面，半导体制造业的发展也必将带动设备业的投资。2000年，中国ic产业的高速发展，使中国市场成为各大设备厂商寻梦的地方。而2005年，有关资料显示，国内半导体设备投资额相比2004年下降了近50%，高昂的设备采购成本以及对半导体制造业的投资更加谨慎，都不同程度地影响着设备业的发展。

中国市场为“支撑”添力

不可否认，中芯国际对整个产业的带动作用已经没有前几年明显，但中国市场并不是没有机会。今年1月19日，阜康同创(北京)微电子公司8英寸芯片项目启动签约仪式举行，阜康同创8英寸芯片项目正式落户北京林河工业开发区。在显示领域，特别是tft-lcd产业的发展，也不容忽视。京东方、上广电、深天马等tft-lcd生产线的投资建设，也将为半导体设备的应用提供更广阔的市场空间。

未来5年，我国集成电路市场将进一步扩大，年均增长速度预计将保持在20%左右，预计2010年市场需求额有可能达到9000亿元。预计2005年到2010年，我国半导体分立器件产业与市场需求将分别保持年均约15%和8%的增长速度。到2010年我国半导体分立器件的产量将达到2200亿只，销售额达到1150亿元。信息产业部电子信息产品管理司基础产品处处长王勃华强调，随着12英寸生产线陆续投入运行，半导体制造设备市场将继续扩大，集成电路和半导体分立器件市场的需求必然会带来产业的迅速发展并进而形成各种半导体设备的广阔市场。

近年来，国内建起了多条太阳能电池模块的封装线，使太阳能电池的年生产量迅速增加，王勃华介绍，我国硅太阳能电池的生产能力已从3年前的十几兆瓦迅速发展到目前的超过100兆瓦。面对我国太阳能电池产业的迅速发展以及太阳能电池用多晶硅产能的缺口，预计适于太阳能电池制造用和太阳能电池用多晶硅材料生产用的半导体设备市场需求也将保持高速增长。

国外厂商收获忙

中国半导体市场良好的发展态势，对全球半导体业有着重要的作用和贡献，国外半导体设备生产厂商忙着在中国市场布局也就不足为奇了。有关市场调研公司的分析报告显示，2004年中国市场半导体制造设备采购额大增了146%。

近年来，中国半导体市场对高端设备和先进技术的需求逐渐增长，这一特点在2004年表现得尤为突出。作为东京精密(accretech)本地化公司，东精精密设备(上海)有限公司副总经理周雅萍认为，国际上知名的半导体生产厂陆续在中国建立生产基地，加速了中国半导体生产制作技术的提升，中国客户对半导体设备的需求也发生了很大变化。周雅萍说：“在几年前，客户要求价格便宜工艺简单的设备，通常客户感兴趣的设备为东京精密生产的低端产品。随着中国客户半导体生产工艺水平的提升，中国客户对先进的生产设备需求不断增加。”

对于先进技术，中国市场与欧美市场的需求是相同的。对此诺发(novellus)公司亚太区运营高级副总裁chen fusen认为，为了迎接ic制造方面的挑战，设备制造商需要扩展其现有设备的生产能力和设备的使用寿命，假如没有出众的技术，要在一两个制造节点的平台可延伸性方面领先通常是不可能的。他说：“在美国和欧洲那些成熟的市场的确是这样，在中国这样新出现的市场也不例外。”在去年年初，novellus把第一台sabre 300mm铜电镀设备装运到一家领先的中国代工厂。

对于今后的市场，各大厂商虽然各执一词，但无论如何，中国市场仍将是这些国际半导体设备厂商的重要战略市场。

加快本地化进程

2006年，全球半导体工业将开始进入65nm器件量产，而设备厂商也将进入到45nm及以下设备的研发，由于研发投入加大，设备厂商风险增加，另一方面，芯片制造等设备采购商，要求设备降价的压力也越来越大。

近年来，设备的价格越来越高，虽然2005年后稍有些回落，但业界普遍反映仍不能承受。半导体设备领域资深人士莫大康介绍，一套先进的光刻机加上涂胶显影轨道设备，至少要2000万美元，如果要做关键的光刻层，采用湿法，大数值孔径的193nm光刻机，那价格还要至少高出500万美元至1000万美元。分析原因，莫大康认为，现在的设备不但硬件要先进复杂，更主要的是购买设备后能保证实现一定的工艺技术，为此设备厂商要开展先进工艺技术的研发，花费是十分巨大的。天下没有免费的午餐，庞大的研发费用都会分摊在每台设备的售价之中，因此设备卖的越多，其分摊的研发费用越薄，只有当研发费用分摊净后，设备价格才可能降下来，所以设备的销售数量是关键。然而进入12英寸、65nm后能够支付得起的客户，购买设备的数量十分有限，所以设备价格可能下降的空间并不大。

作为设备厂商，也面临两难的局面，如果不跟随摩尔定律，则意味着马上出局，但是真要紧跟上去，庞大的研发费用又支付不起，并且很难得到应有的回报。

面对现实的困难局面，作为设备厂商在近时期能做到的是努力设法降低设备的制造成本，子系统及零部件的本地化采购将有助于降低设备生产成本。在中国发展设备配套部件产业，在完善中国半导体制造产业链的同时，也将有助于国际设备供应商整体竞争力的提高。

编辑点评

应给予国产设备更多关注

经过多年的发展，国产半导体设备行业已经取得了很不错的成绩：在半导体前道工序用扩散炉、快速热处理设备。清洗机、匀胶显影设备等；后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等；材料制备设备中的单晶炉、研磨机、抛光机，部分净化设备和试验设备，其中一些国产设备已经日渐成熟，并且已经有设备被用到国内集成电路生产线中。

尽管如此，国产设备进入国内大生产线仍然很难，因为集成电路产业发展太快，设备还没用旧，产品就更新换代了，国内半导体设备企业跟不上市场变换的节奏，因此集成电路生产线几乎被国外厂商的产品垄断。因此，国产设备要想得到发展必须要到大生产线上“验明正身”，为此，业内不少人士呼吁，国内的集成电路大生产线要用国内的设备，给国内设备企业一些机会。当然，前提是要加强国内各设备生产企业的开发能力，不断开发新工艺设备，以满足生产线的需要。

除了进入大生产线，国产设备业的发展还要多方扶持，尤其是国家应该在政策、资金、关税等方面对国产半导体设备行业有所倾斜：系统研究振兴我国半导体和集成电路专用装备制造业的有关政策；鼓励国内装备制造企业、专用装备用户企业和资金进入半导体和集成电路专用装备制造业；在税收上应给予和国外进口设备同样的条件。

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