2023年8月9日-11日，中国电子专用设备工业协会半导体设备年会暨产业链合作论坛、第十一届半导体设备材料与核心部件展示会(cseac)在江苏无锡太湖国际博览中心落下帷幕，作为工艺介质供应系统及工艺环境综合解决方案服务商，无锡恒大电子科技有限公司现场展示了由气体供应系统和化学品供应系统为代表的高纯工艺体系沙盘，成熟的国产化特气、化学品设备，带来多行业的整体解决方案，吸引了众多观展客户驻足洽谈，省巡领导、区委领导莅临无锡恒大电子展位，现场观摩指导。

无锡恒大电子坚持科技创新，不断拓展技术研发，旨在打造完整且先进的高纯工艺系统和洁净工艺系统综合解决方案，以更精准、更高效、更全面的业务能力，为客户提供产品研发、规划设计、建造实施、运行维护等能力，完全满足客户在纯度控制、工艺控制、安全控制等方面的需求，是行业内少数几家高纯工艺系统国产替代进口的制造型企业之一，为半导体芯片制造、新型显示、新能源、生物制药、机械制造等行业核心工艺提供重要支撑。

气体供应系统设备

主要用于半导体、泛半导体、平板显示等行业生产制程所需的诸如三氟化硼、氯气、三氟化氮、硅烷、一氧化碳、氨气等几十种腐蚀有毒、易燃易爆的危害性气体的输送，这种控制系统具有高性能和高纯度的特点。设备功能包含自动吹扫，自动切换，安全切断等，采用plc控制，人机操作界面，可实现电子级特种气体不间断、安全供应，满足客户在纯度控制、工艺控制、安全控制等多方面的需求。

化学品供应系统设备

主要用于氢氟酸、盐酸、硝酸、双氧水，氢氧化钾，氢氧化钠、tmah、ipa、nmp等几十种泛半导体行业生产制程所需的各类化学品的输送系统。设备功能包含计量、混配、搅拌、循环、过滤、取样等，可实现各类化学品定量、安全、稳定供应，同时公司可根据客户需求对酸、碱、有机slurry等介质设备进行定制设计与生产，从源头上满足工艺要求的全过程，确保对工艺介质不产生二次污染。

公司首创的slurry回收混配输送设备系统，具备输送、混配、回收、再利用的功能，通过对slurry温度、流量、压力等参数高精度控制，实现了slurry原液的循环使用，极大为客户降低成本。

无锡恒大电子科技有限公司董事长王敏表示，近年来围绕半导体行业的热度不断，半导体是关乎国家经济和现代化建设的战略性产业，如何进一步提升国产化设备制造能力，提高核心竞争力，是我们所要关注的。

（无锡恒大电子）

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