磁轴承又称主动磁悬浮轴承，是一种转子与定子之间没有机械接触的新型高性能轴承。它由机械部件、电控系统、传感器和辅助轴承等构成。利用电磁力作用将转子悬浮于空间，具有无机械磨损、能耗低、允许转速高、噪声少、寿命长、无润滑介质等优点。选择磁轴承作为分子泵转子的支承，可以从根本上解决传统轴承润滑带来的润滑油脂的油蒸汽返流对真空室的污染等问题，使磁轴承真空分子泵成为集成电路制造设备首选的超高真空获得设备。磁轴承是继油润滑、气润滑之后轴承行业又一次革命性变化，为传统产业增加了高科技产品。这种精密的机电一体化产品，除了在真空分子泵中应用外，还在军工、航天航空、石油石化、能源等领域有着广阔的前景。

由浙江飞旋科技有限公司总经理洪申平为项目负责人的研发团队，在国内率先研发成功了适用于集成电路装备应用的分子泵磁轴承。他们在国内首次将一种5自由度控制的磁悬浮轴承用于分子泵，并采用交叉反馈的控制技术，解决了挠性转子在高转速下的陀螺效应问题，提高了转子的稳定性；采用了本机动平衡技术，有效地降低了转子的振动。

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