作为半导体行业的关键元件，晶圆在半导体加工工序中需要在各个处理站之间快速、精确的传送。

现代的科技技术已经可以生产出纳米级厚度的晶圆，如此昂贵、精密、易碎的晶圆在传送过程中，如果依靠人工操作，很容易被损坏，且过程中会使晶圆表面受到污染。所以，真空机器人——真空晶圆搬送机械臂成为晶圆制造的核心设备之一。其性能的优劣直接影响晶圆的生产效率和制造质量，体现着整个加工系统的自动化程度和可靠性。

纳博特斯克为了满足真空晶圆搬送设备的洁净度和稳定性需求，推出了唇形真空密封件与精密减速机rv™紧凑融合而成的齿轮头单元——hr系列。该系列产品因采用不会破裂的接触式唇形密封件，结构紧凑，且安装、使用方便，可有效缩短fpd搬运用机器人、晶圆搬运装置的组装时间，且有相当高的安全性。

内部搭载的纳博特斯克精密减速机rv™产品在精密减速机领域中已有30年以上的实绩，被广泛应用在世界范围内的制造业设备中。作为工业机器人关节部位的核心零部件，有着高精度、高刚性同时兼备小型、轻量的特点，在实现精密动作的同时，为设备提供强大的承载能力。根据不同的安装需求可替换组件品单元rv™系列/附带对应多个公司伺服电机安装零件的rd2系列作为内部减速机的型号。

【产品规格】

【应用场景】

如对产品感兴趣，欢迎致电021-33632200咨询。

纳博特斯克旨在为客户自动化设备的紧凑化和简单设计、制作、组装提供更加优秀的解决方案。

今后，纳博特斯克也会再接再厉为客户着想，本着客户的需求继续开发新的产品阵容。

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关于纳博特斯克

纳博特斯克集团下属的精密机械公司是精密摆线针轮减速机制造商，生产高性能减速机、中空轴减速机等各类高精尖产品。其生产的精密减速机具有高扭矩、高刚性、高耐过载冲击荷载能力，兼有高精密和超低的背隙。上海纳博特斯克(nabtesco)传动设备有限公司是2013年由上海机电股份有限公司和日本纳博特斯克株式会社出资共同成立的一家面向中国市场提供精密减速机rv™产品及其技术服务的合资公司。总部设立于中国上海，在广州等多个城市设有销售办公室。

目前，纳博特斯克的精密减速机rv™产品已在汽车生产、机床、半导体制造、食品工厂、医疗设备、搬运设备、检测设备等领域广泛应用。

纳博特斯克作为精密减速机rv™产品的创立者，致力于不断地产品创新，并始终坚持用独到的传动技术，为工业自动化产品提供安全、可靠、方便使用的高品质产品。以 “强力，细致，灵敏，站在产品制造前沿”为驱动，依靠已有的技术和知识，并进一步加强对本土客户的技术服务能力，帮助客户提升生产效率，降低综合成本，创造更高价值。

“上海纳博特斯克传动设备有限公司顺利通过国家机器人检测与评定中心(广州)的cr认证，获得了国内首张行星摆线减速器cr证书，具有代表性意义。”

联系方式

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公司名称：上海纳博特斯克传动设备有限公司

公司地址：上海市浦东新区福山路388号17层1706室

联系电话：021-33632200

（来源：纳博特斯克）

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