智慧终端、物联网、智慧医疗等产业的发展，带动了mems传感器的市场需求，未来将成为mems应用的重要领域。到2020年中国mems传感器市场规模将接近60亿美元。面对中国mems产业的巨大蛋糕，苏州工业园区如何能快人一步抓住产业发展的巨大机遇？苏州纳米，作为推动苏州工业园区纳米技术应用产业发展的主力军，七年来一直深耕细作mems领域的产业竞争力，迎接“中国制造2025”。

积跬步，七年持续推动mems产业发展

不积跬步无以至千里，不积小流无以成江海。打造一个产业的核心竞争力，需要坚持投入、持续关注。为紧抓mems产业市场机遇，苏州纳米成立伊始就对mems产业给予了足够的重视，组织国外、国内mems资源与园区企业交流，建设mems产业领域重大平台，组建全国性行业组织，设立促进产业资源聚合、重大关键技术创新的制造业创新中心，推动《苏州工业园区关于促进微纳电子机械系统产业发展实施细则（试行）》落地实施，七年来一直稳扎稳打，逐步夯实mems产业发展基础。

聚资源，打造mems产业竞争力

时光荏苒，七年弹指一挥间。苏州纳米人不舍昼夜，春生夏长、秋收冬藏，于纳米技术应用产业的20多个子领域之中，在mems产业领域投入最大、介入最深、成果最多。

建成中国首个全开放、市场化和工业级mems产业中试平台，为中小mems企业解决创新链上的最大拦路虎。我国mems中小企业蕴藏巨大创新力量，为中国实现mems产业弯道超车提供了可能。然而，全开放、市场化和工业级的mems中试平台的缺乏，严重制约了中小企业工艺研发和小批量生产，也阻断了企业创新链。苏州纳米用四年时间论证、规划、建线，终于2014年月建成6英寸微纳机电制造（mems）中试平台，彻底填补我国mems产业研发机构与规模代工厂之间的空白，同时也构建了苏州工业园区“研发—中试—规模生产”的完整mems产品技术创新链。

该平台已获得质量管理体系、环境管理体系和职业健康与安全管理体系的认证，且荣获“苏州名牌”称号。平台的建成，直接加速了苏州工业园区mems创新资源的集聚，北京、上海、西安、太原、郑州、石家庄、哈尔滨等多个地区项目陆续落户苏州纳米城，另外平台的服务能力也覆盖了北京、上海、四川、江苏等十多个城市。

联合国内知名mems领域企业、科研机构、产业组织，组建中国半导体行业协会mems分会，终结mems产业领域无专门行业组织历史。中国半导体行业协会执行副理事长兼秘书长徐小田曾表示，成立中国半导体行业协会mems分会，就意味着全国mems产业资源有了自己的组织，有了表达自身发展诉求的平台，更能够推动中国mems产业的快速发展。这也是苏州纳米与国内40多家mems行业龙头企业、顶级科研院所、知名高校共同成立“中国半导体行业协会mems分会”的目的。

目前mems分会建立了跨地域、多主体参与的全新运营模式，推动mems产业领域上游、中游、下游企业的合作交流，会员超过300家，覆盖15个省市，完成《中国mems企业名录与产品汇编》，持续举办中国mems企业与市场应用对接合作洽谈会，配合工信部完成《中国mems产业十三五规划》，促进了我国mems产业领域的人才集聚、技术创新、成果转化，同时也为苏州工业园区构建了mems设计、研发、加工制造、封装测试等全产业链联动关系，进一步夯实了园区mems产业创新资源加速集聚的基础。

培育区域mems产业创新创业生态体系，吸引大院大所、知名企业等高端资源进入苏州工业园区创新创业。苏州纳米深知，mems企业的发展离不开产业生态，就好比鱼的生存和成长依赖于水。自2011年启动微纳制造可持续技术研讨会项目以来，苏州纳米人七年来一直围绕器件设计、概念验证、加工制造、封装、测试、集成应用等mems产品创新链，借助中科院电子所、中科院苏州纳米所、西交大等国内成熟资源，弥补产业发展的短板，培育建立包括创新企业、科研院所、中试平台、行业协会、创投机构、专利运营、行业论坛的区域mems生态体系。

深耕细作mems产业导航，协助开展区域产业发展规划，推动区域专利优势转化成为产业优势。专利导航试点工程是国家推动实施创新驱动发展战略和知识产权战略的重大举措。2013年，苏州工业园区获批成为专利导航纳米技术产业发展实验区。苏州纳米作为实验区建设的实施单位，以mems产业领域为突破口，推动mems专利分析和预警研究，建成全国mems产业专利导航综合服务平台，为150多家企业提供mems专利检索分析等综合服务，为5家重点mems企业实施专利微导航项目，开展mems产业共性技术、关键环节专利收储，与北大、西交大、中北大学、中科院苏州纳米所等单位签署专利收储与技术转移合作协议，参与、协助完成《苏州工业园区专利导航纳米技术应用产业（mems方向）创新发展规划》，积极促成《苏州工业园区关于促进微纳电子机械系统产业发展实施细则（试行）》政策的出台，让中小mems企业享受更多政策红利。

对接“中国制造2025”重大国家战略机遇，筹建“江苏省微纳制造业创新中心”，整合全省微纳制造创新资源，打造产业发展的大脑与中枢。自德国提出“工业4.0”后，美国推出“工业互联网”，中国发布“中国制造2025”，新一轮以智能制造为核心的产业变革正在全世界兴起。江苏省委省政府发布《中国制造2025江苏行动纲要》，抢抓机遇，加快提升江苏制造整体水平。智能制造离不开mems产业的发展。苏州纳米顺势而为，2016年联合园区内外知名企业和机构筹建江苏省微纳制造业创新中心，并获得江苏省经信委的批准。该中心聚焦微纳制造产业，面向全省整合分散的产业和科技创新资源。针对从应用基础研究到重大产品首用的产业创新全过程和重点环节，开展核心关键技术、共性技术和共性产品的研发，打造战略合作和合资的创新联合体。目前，苏州纳米已经启动该中心的建设工作，联合有关机构打造驱动产业创新的大脑和中枢。

聚焦mems产业、企业需求，面向全国举办产业技术人才培训、组织高端创新资源交流论坛。mems企业发展依靠人才，技术创新合作有赖于产业交流。近年来，苏州纳米一直从市场发展需要出发，依托校企合作、企业专家、专业机构、行业组织，组织10多次面向全国或区域的mems技术人才培训，吸引包括园区在内多地企业、机构人员参加，累计达到1000人次。同时与有关部门协调推动工信部职业技能鉴定站有关工作，提升mems产业人才培训的水平和含金量。此外苏州纳米自主或依托国内知名机构组织全国或区域的mems相关的产业高峰论坛、企业市场对接会，围绕mems创新链推动mems技术上游、中游、下游资源交流对接，进一步促进全国mems领域科研机构、创新企业、行业组织的交流合作。

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