black phosphorus（bp，黑磷）是纳米电子器件应用中最受关注的2d（二维）层状材料之一，其独特的性质包括，根据其层数而变化的频带隙能量，随着层数的减少，变化范围可从0.3ev（块体）到2.0ev（单层）。通常，包括bp在内的2d层状材料在合成方面，由于时间、温度等工艺因素，都具有一定的局限性，bp在空气中极不稳定，因此，其从块体材料到2d层状材料的加工，需要采用一定的减薄技术来控制减薄的厚度。

据麦姆斯咨询报道，韩国成均馆大学（sungkyunkwan university）先进材料科学与工程学院的jin woo park等研究人员，采用了一种控制ar+（氩离子）离子束方案，进行了bp层控制减薄研究。通过采用45–48 ev的近乎单能离子能量的ar+离子束，bp可以以约0.55nm/min的速度减薄至双层bp，并且不会引起表面粗糙，或改变表面的化学键状态。同时，ar+离子束还能去除原料bp上的bp氧化物。利用减薄的双层——10层bp制造的2d bp场效应晶体管（fet），展现出了与那些原始bp场效应晶体管相似的电学性能。实验结果表明单能离子能量的ar+离子束减薄工艺，并未损害2d层状bp材料的电学性能。

该研究成果发表于2017年10月16日刊登的《journal of materials chemistry c》。

北京埃德万斯离子束研究所股份有限公司自主研发的advanced lkj系列离子束刻蚀系统，为通用离子束刻蚀系统，除了可进行传统微纳结构刻蚀外，还可实现离子束清洗、材料表面抛光和材料减薄等功能，还可实现化学辅助离子束刻蚀（caibe）与反应离子束刻蚀（ribe）。

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