高端装备与核心装置是“大国重器”。mocvd（有机金属化学气相沉积）设备作为生产led外延芯片的关键设备，一直站在led行业价值链的顶端。4月22日下午，南昌市人民政府与中微半导体设备（上海）有限公司签署战略合作框架协议。我市将在南昌高新区建设高端mocvd装备制造基地，助推“南昌光谷”成为我国产业链最完整的led生产基地。

led原创技术实现“全链条”

众所周知，“南昌光谷”的打造，立足的就是打破日本蓝宝石衬底和美国碳化硅衬底技术的专利壁垒，在夹缝中闯出具有中国全部自主知识产权的硅衬底led路线。今年，南昌以南昌高新区led光电产业为核心的“南昌光谷”招商引资迎来了重大突破——在led高端核心装备mocvd方面引进了中微半导体设备（上海）有限公司，从而使led产业告别了只能从美国进口核心装备mocvd的历史。

记者了解到，中微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“中微半导体设备公司”）成立于2004年，是国内技术最领先的高端芯片设备企业，也是国家集成电路产业投资基金首个投资企业。该公司所专长的纳米级刻蚀技术和薄膜技术是众多微观加工的核心，其设备都是制备半导体芯片、led芯片生产过程中最为关键的设备。

中微半导体设备（上海）有限公司董事长尹志尧表示，为打造具有自主知识产权的“大国重器”，中微半导体设备公司着手研发mocvd设备，经过近7年的努力，终于在2016年底正式投入市场，打破了美国、德国的设备垄断局面。“仅用了一年的时间，我们公司在国内市场占有率达到70％，成为全球mocvd设备领域的两强之一。”尹志尧说。

中微半导体设备公司之所以选择落户南昌高新区，是因为南昌高新区在led光电产业相关政策上极具优势。尹志尧表示，南昌投资环境十分优越，地方政府对企业的支持力度大、服务好。

有望成为全球最大的mocvd设备生产基地

“去年12月份签约落户后，南昌高新区就为我们找到了过渡厂房。截至今年3月底，我们公司已获得mocvd设备订单约200腔体。如此高效率源于高新区的‘重资本、轻资产’招商模式。”南昌中微半导体设备有限公司总经理季华告诉记者，“项目二期将在2019年启动建设。”

在南昌高新区，像中微半导体设备公司这样看好发展未来、满意投资环境、认可产业成熟度的企业还有很多。中国节能环保集团入主晶和照明，通过技术支持和市场推广，让晶和照明led路灯出口一年之内增长10倍。近年来，高新区始终聚焦led产业核心，着力构建生态体系，实现抱团发展。随着深圳兆驰、卓翼科技、彩虹集团、易美芯光、中微半导体、中晟光电等一批上市公司、央企及行业翘楚企业落户，高新区led产业核心的外延、芯片年产能将突破3000万片，成为全国最主要的外延、芯片生产基地；高端大腔体mocvd设备年产能将突破300腔体，有望成为全球最大的mocvd设备生产基地。

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