据麦姆斯咨询报道，中国台湾纯代工厂visual photonics epitaxy co ltd（vpec，全新光电）近日宣布为其vcsel（垂直腔面发射激光器）生产引进了德国柏林厂商laytec的原位测量产品。

laytec的epitt/vcsel包括两个光纤测量头：一个用于标准epitt，另一个用于光谱反射率传感（r-vcsel）。两个光纤测量头均可通过epicurve测量头上的转接法兰进行连接epicurve/vcsel系统，该项设置可同时集成完整的epicurve tt性能和dbr（分布式布拉格反射镜）阻带和腔倾角位置的频谱监测功能。这款四合一计量工具安装于aixtron g3行星式反应器顶部。epitt/vcsel和epicurve tt/vcsel由新型软件模块供电，可实现单阱和多阱运行。

为了支持全球3d传感和其它快速增长的应用对vcsel芯片的需求，laytec将vcsel add-on用于其epitt和epicurve tt系统，提供了额外的原位光谱反射率传感，并可在gaas基和inp基近红外/红外（nir/ir）vcsel工艺波长范围内进行定制，实现这类高度复杂的多层结构器件的高良率制造。

vcsel add-on也可作为现有epitt或epicurve tt系统的升级版本。凭借配备先进的实时分析算法，除了epitt的晶圆温度和生长速率监测，以及epicurve tt的晶圆弯曲测量外，它还能够在vcsel外延过程中监测dbr（分布式布拉格反射镜）阻带和腔倾角位置。

苹果iphone x红外点阵投影器中的vcsel芯片

来源：《苹果iphone x红外点阵投影器》

“vpec为vcsel晶圆制造选择了laytec市场领先的原位测量技术，作为实现我们高标准的品质和良率的基本要素，” vpec高级副总裁neil chen评价说，“将现有的晶圆温度、晶圆弯曲和生长速率控制，结合新的频谱监测性能，是vcsel代工厂工艺转移、快速调整配方和扩大规模的关键。”

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