中国精密机械之王：一台设备卖到4000万，目前在国内没有任何对手

2018-10-15 12:21来源:牛人牛话//

原标题：中国精密机械之王：一台设备卖到4000万，目前在国内没有任何对手

随着ai芯片、5g芯片、汽车电子、物联网等下游的兴起，目前国内正在大力发展半导体产业，而核心设备光刻机被誉为工业皇冠上的明珠，其主要核心供应商为荷兰半导体设备制造商asml holding nv（asml），它几乎垄断了全球高端光刻机市场，euv光刻机中更是全球独有，7纳米及以后的工艺都要依赖euv光刻机，而且设备价格高昂，单台设备超过1亿美元（约合6.9亿元人民币），而且是有价无货。。

就连半导体巨头英特尔在前些年，追加大连ic产线，购买了荷兰asml的光刻机，为保障这批设备的运输，动用了6架包机，货运公司调用了6台减震车和数控温床，操作时都要小心翼翼像，可见芯片巨头对于它的重视程度。

一颗芯片看似寻常，实际上里面集成着数不清的电路，在小小的芯片上要让电路纹丝不乱，需要极度精准的光刻机。截止目前全球仅有少数几家设备厂商掌握光刻机技术，如asml、佳能、尼康、suss、abm、inc等，其中asml在全球晶圆厂光刻机设备的市场份额高达8成，国产化势在必行。

有数据显示：从设备需求端测算，2018-2020年国产晶圆制造设备市场空间增速分别为54%，78%和97%，2018-2020年累计市场空间达250亿元。

国内有一家企业将打破这一格局，这家企业就是华卓精科，它是清华大学机械工程系长聘教授、博士生导师，机械电子工程研究所所长朱煜教授所创立，并于四年前年联合清华大学成功推出了中国第一台满足65纳米光刻机需求的双工件台样机，现在正在向28纳米制程的浸没式光刻机双工件台，发起了冲刺。

“我就是一个陀螺，一旦停下来就会倒下。不停，就可以一直高速旋转。”朱煜这么形容自己的状态。

这家公司成立以来，一直专注于集成电路装备技术研发及产业化，是集成电路制造前端光刻机的重要部件生产商，旗下双工件台的研发与产业化，目前处于全球领先地位。是除半导体设备制造商荷兰asml以外全球第二家可以生产光刻机双工件台的企业。他们的核心战略产品是光刻机双工件台；其他整机设备包括激光退火、硅片堆叠、扫描干涉光刻机；零部件有运动平台、efem、静电卡盘、隔振器等。前两年，华卓精科与上海微电子装备(集团)有限公司签订了3台干式双工件台产品供货合同，总价值1.2亿元，平均下来每台售价超过4000万元。

目前，光刻机双工件台作主要为光刻机的两大核心子系统，使运动误差保持在2纳米之内，也就是人头发丝直径的四万分之一，精细难度非常之大。再打个形象的比喻，两架时速1000公里/小时的飞机在任意时刻的飞行位置偏差不超过一个微米。如此极端、精细的性能指标，使光刻机双工件台成为当之无愧的“精密机械之王”，其制造工艺难度可想而知，目前他们这家企业在国内没有任何对手。

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