精工在直线导轨“miniatur pu/pe”系列中追加了负荷容量约为原来1.5倍的型号,并将于2007年8月上市。pu系列使用2个轴来承担力矩负荷,pe系列的导轨宽度较大,对力矩负荷的承担能力较强,可使用1个轴。两个系列均面向半导体制造装置、检查装置及各种精密载物台。
miniatur pu/pe系列由于没有对循环孔进行切削加工,因此循环孔内表面的光洁度较高,滚珠可顺畅循环。另外,还将循环孔与滚珠导回槽设计成了一体,没有段差,不会妨碍滚珠的循环。此外,还配备了防止滚珠脱落的保持器,即使将轴承从轨道拔出,滚珠也不易掉落。新产品通过提高负荷容量来应对装置的小型化。寿命延长到了原来的3.3倍。
高负荷型号将轴承的长度加长到了标准型的1.4~1.7倍。通过这一措施,动额定负荷提高到了1.3~1.5倍、静额定负荷提高到了1.5~1.7倍。静力矩负荷方面,摇摆力矩提高到了1.5~1.7倍,俯仰方向和偏摆方向的力矩提高到了2.2~2.7倍,还可用于单侧支撑用途等。
通过改进轴承的轨道沟槽端部以及端盖的滚珠上卷部的形状,实现了滚珠向轨道沟槽的顺畅导入。具体来说,在沟槽端部方面,根据滚珠的弹性变形量设定了凸度量和凸度曲率半径。这样,便减小了滚珠的负荷变动、提高了动作效率。而端盖方面,则优化了滚珠上卷位置。通过这些措施,即使基本静额定力矩负荷(静力矩负荷的界线值)的20%发挥了作用,也可确保较高的动作效率。
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