鉴于「奈米级精密定位平台系统」需求的快速成长与对未来机械设备精密度提升的关键性，虎尾科技大学与银泰科技公司结合产、官、学、研四方，经三年研发与测试，推出台湾地区首套自制的「双轴长行程奈米级精密定位平台系统」，是台湾地区精密机械业的一大福音。

此精密运动平台是不可或缺的关键性载台，全球对此精密平台的需求将持续成长，且设备价格大幅成长，目前所有设备皆仰赖进口，主要进口国为日本、荷兰与南韩，台湾地区至今相关关键技术仍不纯熟，因此，此次虎尾科大精密机械科技研究中心主任兼教授觉文郁的研究团队与银泰科技公司（pmi）投入建构长行程奈米级平台与相关关键技术。

觉文郁研究团队成员包括：该校自动化系教授林博正、光电所副教授刘建宏、成大航天系教授陈介力与精密机械技术研发中心十余位博、硕士研究生与银泰科技公司研发人员共20余位，经过三年时间，第一台完全由国人自行设计、制作与开发的双轴长行程奈米级精密定位平台已成功开发完成。

该平台主要可分为三大部分：一为双轴长行程导螺杆平台、一为三自由度压电微动平台、一为三自由度量测系统。经由pid闭回路控制器使该平台可达到奈米级之定位控制。该双轴长行程奈米级精密定位平台硬件架构中，线性滑轨与滚珠导螺杆是应用银泰科技公司所制造超高精密级度（up级）线性滑轨与c0级滚珠导螺杆。

该平台最大工作范围可达300mmｘ300mm、定位精度可达10nm、角度定位精度可达1角秒（arcsec，1角秒为1/3,600度）、最大荷（载）重达50kg、双轴循圆定位精度在30nm以下、半导体蚀刻路径定位精度为+10nm。

在随着高精密加工设备、半导体工业与奈米科技的开发运用，使得奈米级定位平台的需求快速成长与具未来关键性，而广泛用于光电与半导体设备上使用，如晶圆曝光机、原子粒显微镜、微影制程、曝光显影、pcb与lcd、微细加工等。

此次虎尾科大与银泰科技公司投入建构长行程奈米级平台与相关关键技术，希望藉由此次合作，以突破国外垄断，进而带动台湾地区相关产业升级。

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