近日，国家自然科学基金委员会国家重大科研仪器制项目（部门推荐）——“超高时-空分辨的离子化学研究系统”和“半导体器件氧化层电缺陷演化原位分析系统”现场考察会分别在北京大学举行。北京大学校长郝平出席考察会。国家自然科学基金委员会（以下简称基金委）领导及专家组听取项目负责人汇报，与项目组骨干成员、依托单位及合作单位管理部门人员进行分组访谈，并对相关实验室进行了实地调研。经过基金委严格的评审程序，今年北大两项国家重大科研仪器研制项目（部门推荐）均通过了专家评审和现场考察。

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专家组考察“超高时-空分辨的离子化学研究系统”项目

8月23日，“超高时-空分辨的离子化学研究系统”项目负责人吴凯教授在考察会上就仪器的研制基础、建设方案与进度安排、条件保障以及风险评估等进行了汇报。离子化学在化学、物理、材料和能源等方面有着广泛的应用，包括乏燃料的安全处置、核素分离、稀土分离与纯化、离子电池及其资源回收等，涉及国家重大战略需求。该项目将解决在单离子水平上研究离子的溶剂化，溶剂化离子的微观结构、迁移动力学和电子性质等关键科学问题。

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考察“超高时-空分辨的离子化学研究系统”项目合影

基金委领导及考察组专家认真听取了项目汇报并与项目组成员和依托单位相关管理部门人员展开了热烈的讨论，并且进行了现场考察。专家组一致认为，该系统的研制将极大地提升我国在离子化学领域的科学研究水平，开拓离子化学新方向，对我国化学基础科学研究和相关关键技术发展具有重大意义，将是国际上独特的离子化学研究先进技术平台，建议立项启动。

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专家组在北京大学微纳电子学系实地考察

8月29日，“半导体器件氧化层电缺陷演化原位分析系统”项目负责人黄如院士在考察会上就仪器的研制原理、研制方案、研制基础、进度安排、保障条件以及风险应对等进行了汇报。氧化层电缺陷是影响半导体器件性能和可靠性退化的共性科学问题，是先进芯片制造技术研发的瓶颈。该项目基于项目组提出的新原理，拟研制世界首个具备缺陷位置、类型、演化等分析的新型半导体器件氧化层缺陷测试分析系统，具备器件无损测量、实时监测和单缺陷分析等特色。

基金委领导及考察组专家认真听取了项目汇报，并就项目的科学问题、研制方案和依托单位的保障条件等进行了充分交流沟通。经过现场考察后，专家组一致认为，该系统的研制将开拓微纳电子学的前沿基础，并有望推动我国先进集成电路技术与芯片制造产业的发展，建议立项启动。

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