2020年7月23日，上海计量院作为课题负责单位参与的国家重点研发计划 “制造基础技术与关键部件”重点专项“硅基 mems 高深宽比三维结构的干涉显微无损测量技术”项目启动会在南京理工大学顺利召开。工信部产业发展促进中心、项目牵头单位南京理工大学相关领导和人员出席会议，项目组各课题负责人及研究骨干参加会议。

由上海计量院承担的课题三“测量系统的量值溯源、校准与误差补偿”将主要围绕“硅基mems 高深宽比三维结构测量系统的量值溯源与关键技术指标验证”开展高精度深宽比标准样板的设计、加工、定标技术研究，并以准确赋值的标准样板实现对项目开发的无损测量系统的进行量值溯源、校准与误差分析，为项目仪器开发和关键技术指标提供计量保障。会上，课题负责人、上海计量院机械制造所所长、教授级高工傅云霞首先针对课题的背景意义、研究目标、课题总体思路、进度安排等方面做了全面陈述，并对课题组织管理、基础保障与里程碑考核等进行了汇报和说明。与会专家认真审议了课题的各项内容，对实施方案总体上表示肯定的同时，提出了一些切实可行的改进建议，进一步完善了课题实施路线与方案。 近年来，上海计量院聚焦集成电路、商用飞机、新能源汽车、高端制造等战略性新兴产业，以产线业务对接、产学研融合、联合实验室为抓手，为上海市科创中心建设提供计量技术支撑服务。同时，面向产业发展关键技术难点、技术瓶颈等，陆续开展国家重大仪器开发专项、国家重点研发计划、国防计量重大专项、国家市场监管总局科技项目、市科委重大科技项目等国家、地方的重点建设项目。

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